產(chǎn)品中心
PRODUCTS CNTER當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)檢測儀器測量金相顯微鏡MX63/MX63L半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡
半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡采用易用設(shè)計(jì),能夠提供 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質(zhì)觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設(shè)計(jì),能夠提供適用于多種檢查用途的觀察系統(tǒng)。通過與 Stream 圖像分析軟件結(jié)合,從觀察到報(bào)告生成在內(nèi)的整體檢查過程都變得簡單而流暢。
產(chǎn)品分類
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半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡
新MX63/MX63L顯微鏡支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品,由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中,MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。
長壽命高強(qiáng)度白色LED照明:
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源,兼顧低功耗和長壽命的特點(diǎn),而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和準(zhǔn)確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。
功能性:適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于晶圓直徑200mm,MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī),實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進(jìn)行檢測。
模塊化:全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi),鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。
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