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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)檢測(cè)儀器光學(xué)輪廓顯微鏡PZ-Mico D納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量

納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準(zhǔn)確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù),適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測(cè)量求,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)精度測(cè)量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。

產(chǎn)品型號(hào):PZ-Mico D
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準(zhǔn)確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù),適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測(cè)量求,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)精度測(cè)量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。


納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量


納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量技術(shù)參數(shù):

型號(hào):PZ-Mico D

測(cè)試技術(shù): 3D相干掃描干涉法,抗震算法,移相干涉法

光源:固態(tài)白光光源,軟件控制切換光譜(VSI和PSI)

掃描裝置:精密壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率:1280X1024

視場(chǎng):  10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍:25mm

橫向分辨率:0.05-2.68µm

軸向分辨率:VSI:0.5nmPSI:0.1nm

臺(tái)階高度精度(示值誤差)±0.1nm(5µm標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階)

臺(tái)階高度重復(fù)性:0 . 1%1σ(5µm標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復(fù)性:0.01nm

被測(cè)樣品反射率:0.05%-100%

Z軸:電動(dòng)Z平臺(tái)100mm,1μm分辨率)

位移臺(tái):電控平臺(tái)移動(dòng)范圍XY:100x100mm


納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量

納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

納米白光干涉儀 表面細(xì)微三維形貌測(cè)量

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